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The IG5C features a low power, high brightness, surface ionisation source coupled to a compact ion column, providing high performance in a small package.

The Hiden MAXIM quadrupole SIMS analyser is a state of the art secondary ion mass spectrometer for positive and negative, static, dynamic and neutral analytical applications.

EQS 是差式泵式二次離子質(zhì)譜（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子。采用最新技術(shù)的SIMS 探針，便于連結(jié)到現(xiàn)有的UHV表面科學(xué)研究反應(yīng)室。

Hiden SIMS二次離子質(zhì)譜工作站提供高性能靜態(tài)和動態(tài) SIMS 分析，用于的表面成份分析和深度剖析。

TPD 工作站配備多端口 UHV 室，配有加熱樣品臺，與高精度三重過濾質(zhì)譜儀相結(jié)合，配有脈沖離子計數(shù)檢測器，可實現(xiàn)超過靈敏度和時間分辨率。

The IMP-EPD is a differentially pumped, ruggedised secondary ion mass spectrometer for the analysis of secondary ions and neutrals from the ion beam etch process.